发明名称 |
滑轨往复式对靶溅射加热传动装置 |
摘要 |
一种滑轨往复式对靶溅射加热传动装置,它包括有一个箱体,在箱体的一侧设有样品架进出口,在箱体内的底部和样品架进出口的外部设有样品架进出导轨,在导轨上设置可移动的样品架,在箱体前后面内设有加热陶瓷平行板基体,在箱体前后对应面上设有方形溅射口。所述的样品架为长方形结构,在长方形的样品架上均匀开有至少两个基片固定槽孔,在样品架的下端连接有导轮。所述的样品架外侧连接有推拉杆,其由步进马达带动。在加热陶瓷平行板基体上设有蛇形加热丝。本实用新型的优点是,结构简单、使用方便、可高效地满足直流溅射方法制备高性能、均匀性好的大面积高温超导薄膜,并满足批量化制备的要求。 |
申请公布号 |
CN2730887Y |
申请公布日期 |
2005.10.05 |
申请号 |
CN200420118599.0 |
申请日期 |
2004.10.14 |
申请人 |
北京有色金属研究总院 |
发明人 |
古宏伟;李弢;王霈文;王小平 |
分类号 |
C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 |
代理人 |
胡福恒 |
主权项 |
1、一种滑轨往复式对靶溅射加热传动装置,其特征在于:它包括有一个箱体(1),在箱体的一侧设有样品架进出口(4),在箱体内的底部和样品架进出口的外部设有样品架进出导轨(5),在导轨上设置可移动的样品架(14),在箱体前后面内设有加热陶瓷基体(2),在箱体前后对应面上设有方形溅射口(6)。 |
地址 |
100088北京市新街口外大街2号北京有色金属研究总院研发部 |