多功能清洗模块及应用该模块的清洗设备

摘要

本发明公开了一种多功能清洗模块，包括：多个气帘、受激准分子紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀，在此这些部件被连续的布置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入它们之中。也公开了一种应用该多功能清洗模块的清洗设备，其包括：执行装载和卸载玻璃基片的驱动部以及所述多功能清洗模块。

主权项

1.一种用于平板显示器的多功能清洗模块，至少一个玻璃基片从该多功能清洗模块经过，该多功能清洗模块包括：一个构架，定向成与玻璃基板行进面共面；多个气帘，设置在所述构架上；受激准分子紫外光照射装置，设置在所述构架上；刷，设置在所述构架上；高速喷淋装置，设置在所述构架上；以及空气刮刀，设置在所述构架上，其中，上述气帘、受激准分子紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀同时作用于一个玻璃基片上。