光学扫描头及其制造方法

摘要

本发明提供一种光学扫描头及其制造方法。光学扫描头包括底基板、框架、H型平台、支撑件和平台驱动机构。在底基板上形成一个有预定图案的互连层。在底基板上形成一个矩形框架形式的框架。H型平台有一个在框架中相对于单轴中心轴往复运动、并定位于单轴中心轴的中心区和四个延伸区，四个延伸区从单轴中心轴穿过的中心区的两侧平行于单轴中心轴延伸出来。支撑件有定位于单轴中心轴上并与框架相连的支撑条和从支撑条延伸出并连接于平台中心区的扭杆。平台驱动机构包括活动电极梳和固定电极梳，它们分别位于平台的下面以及与平台相对的底基板上。在延伸区能形成多个电极梳。因此能显著提高驱动力，其结果是，用很小的电压可获得同样的驱动速度。同时，对于高速驱动，平台的重量明显降低。为此，将平台分成多个平台。而且，为增加驱动力，将多个电极梳另外在平台的左侧和右侧形成。

主权项

1.一种光学扫描头，包括：一个底基板，上面形成具有预定图案的互连层；一个框架，它为矩形框状，形成于底基板之上；一个H型平台，它有一个在框架中相对于单轴中心轴往复运动、并定位于单轴中心轴的中心区和四个延伸区，这四个延伸区从单轴中心轴穿过的中心区的两侧平行于单轴中心轴延伸；支撑件，其具有定位于单轴中心轴上并与框架相连的支撑条和从支撑条延伸出并连接于平台中心区的扭杆；平台驱动机构，包括活动电极梳和固定电极梳，它们分别位于平台的下面和与平台正对的底基板的上面。