基板搬送装置

摘要

本发明的目的在于提供一种基板搬送装置，该基板搬送装置由安装有基板托盘的承载器，承载器搬送机构，与以非接触方式对承载器的顶部进行导向的承载器导向机构构成，其特征在于该导向机构由第一排磁铁和第二排磁铁构成，该第一排磁铁沿搬送通路而安装于上述承载器的顶部，该第二排磁铁在第一排磁铁的上方或下方，沿搬送通路而安装于真空室中。另外的特征在于按照下述方式设置磁铁，该方式为：沿与搬送方向相垂直的方向，以规定间距间隔开地设置多排的第一排磁铁和第二排磁铁，在面对的磁铁排之间，作用有吸力，在相邻的磁铁排之间，作用有排斥力。通过本发明可抑制基板托盘的摆动，进而抑制灰尘的产生，可实现稳定的高速搬送。

主权项

1.一种基板搬送装置，该基板搬送装置沿真空室内的搬送通路，搬送基板，该基板搬送装置由安装有保持基板的基板托盘的承载器，搬送该承载器的承载器搬送机构，与沿搬送通路，以非接触方式对上述承载器的顶部进行导向的承载器导向机构构成，其特征在于：在上述导向机构中，第一排磁铁和第二排磁铁按照相互吸引的方式设置，该第一排磁铁为沿搬送方向安装于上述承载器的顶部上的一个或多个磁铁，基本沿垂直方向磁化，该第二排磁铁在该第一排磁铁的上方或下方，按照规定的间距与第一排磁铁间隔开，沿搬送通路安装固定于真空室中的一个或多个磁铁，基本沿垂直方向磁化。