成膜源、成膜装置及方法、有机EL面板及其制造方法

摘要

一种成膜源、成膜装置及方法、有机EL面板及其制造方法。成膜源(10)具有：排出口(11)，配置在成膜室(2)内，其开口朝向基板(3)的被成膜面(3A)；材料收容部(12)，配置在成膜室(2)外面，具有可以更换的材料容器(12A₁、12A₂)；加热装置(13)，用于加热材料容器内的成膜材料；排出通道(14₁、14₂)和旁路通道(15₁、15₂)，并且，至少在排出通道(14₁、14₂)的分支点的下游侧和旁路通道(15₁、15₂)上，设置了对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制阀门(V1～V4)。由此，能够以所期望的状态长时间地连续进行确保优质成膜的成膜工序。

主权项

1.一种成膜源，是一种在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内、将升华或蒸发的成膜材料成膜于基板的被成膜面上的成膜装置的成膜源，其特征在于，具有：排出口，配置在所述成膜室内，朝向所述基板的被成膜面排出所述成膜材料；材料收容部，配置在所述成膜室的外面，具有收容所述成膜材料的材料容器；加热单元，加热所述材料容器内的成膜材料；排出通道，将所述排出口和所述材料收容部气密连通；旁路通道，从该排出通道分支，把朝向所述排出口的成膜材料引导向其他方向，并且，至少在所述排出通道的所述分支点的下游侧和所述旁路通道上设有对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制单元。