发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明的半导体器件具有:在硅晶片(4)的元件形成面上所形成的与电路电连接的电极区(2);与上述电极区(2)电连接的进行了再布线的布线图形(5);以及在上述布线图形(5)表面上通过上述布线图形(5)的氧化而形成了的氧化膜(10)。上述半导体器件通过形成了上述氧化膜(10),可防止电特性等的可靠性的降低,同时与现有技术相比,可降低制造成本。 |
申请公布号 |
CN1677657A |
申请公布日期 |
2005.10.05 |
申请号 |
CN200510054502.3 |
申请日期 |
2005.03.08 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
岩崎良英;住江信二;森胜信 |
分类号 |
H01L23/48;H01L23/52;H01L21/60;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L23/48 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
浦柏明;刘宗杰 |
主权项 |
1.一种半导体器件,其特征在于,具有:基板;在上述基板的元件形成面上所形成的电路;与上述电路电连接的电极区;与上述电极区电连接的进行了再布线的布线图形;以及在上述布线图形表面上使上述布线图形氧化而形成了的氧化膜。 |
地址 |
日本大阪市 |