发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明的半导体器件具有:在硅晶片(4)的元件形成面上所形成的与电路电连接的电极区(2);与上述电极区(2)电连接的进行了再布线的布线图形(5);以及在上述布线图形(5)表面上通过上述布线图形(5)的氧化而形成了的氧化膜(10)。上述半导体器件通过形成了上述氧化膜(10),可防止电特性等的可靠性的降低,同时与现有技术相比,可降低制造成本。
申请公布号 CN1677657A 申请公布日期 2005.10.05
申请号 CN200510054502.3 申请日期 2005.03.08
申请人 夏普株式会社 发明人 岩崎良英;住江信二;森胜信
分类号 H01L23/48;H01L23/52;H01L21/60;H01L21/3205 主分类号 H01L23/48
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 浦柏明;刘宗杰
主权项 1.一种半导体器件,其特征在于,具有:基板;在上述基板的元件形成面上所形成的电路;与上述电路电连接的电极区;与上述电极区电连接的进行了再布线的布线图形;以及在上述布线图形表面上使上述布线图形氧化而形成了的氧化膜。
地址 日本大阪市