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发明名称 HIGH-SPEED DIAMOND GROWTH USING A MICROWAVE PLASMA IN PULSED MODE
摘要
申请公布号 EP1581676(A1) 申请公布日期 2005.10.05
申请号 EP20030815047 申请日期 2003.06.18
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS;UNIVERSITE PARIS XIII 发明人 GICQUEL, ALIX, HELENE;SILVA, FRANCOIS;DUTEN, XAVIER;HASSOUNI, KHALED;LOMBARDI, GUILLAUME, VINCENT;ROUSSEAU, ANTOINE
分类号 C23C16/27;C30B25/10;(IPC1-7):C30B25/10;C30B25/02;C30B29/04;C23C16/511 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
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