| 发明名称 | 判定模板与衬底之间的间隔的方法 | ||
| 摘要 | 说明压印制版工艺中用的模板与衬底之间间隙和取向的高精度测量方法。这里提供的间隙和取向测量方法包括采用基于宽带光的测量技术。 | ||
| 申请公布号 | CN1221858C | 申请公布日期 | 2005.10.05 |
| 申请号 | CN01815367.4 | 申请日期 | 2001.08.01 |
| 申请人 | 得克萨斯州大学系统董事会 | 发明人 | T·百利;B·J·周;M·科尔博恩;S·V·斯瑞尼瓦萨恩;C·G·威尔森;J·埃克德特 |
| 分类号 | G03F7/00;G03F9/00;G03B27/42 | 主分类号 | G03F7/00 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张政权 |
| 主权项 | 1.一种判定模板与衬底之间的间隔的方法，包含：将模板和衬底安装成相互具有间隔关系，使模板与衬底之间形成间隙；对模板和衬底施加含多个波长的光；监视从模板表面和衬底反射的光；根据监视的光判定模板的表面与衬底之间的距离，其特征在于，模板在其表面包含多个凹口。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯州 | ||