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发明名称 Mask, method for manufacturing a mask, method for manufacturing an electro-optical device, and electronic equipment
摘要
申请公布号 EP1583400(A2) 申请公布日期 2005.10.05
申请号 EP20050006370 申请日期 2005.03.23
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 YOTSUYA, SHINICHI
分类号 H01L51/50;C23C14/04;H05B33/10;(IPC1-7):H05B33/10 主分类号 H01L51/50
代理机构 代理人
主权项
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