发明名称 FLOW CONTROL VALVE
摘要
申请公布号 KR100520726(B1) 申请公布日期 2005.10.05
申请号 KR20050009687 申请日期 2005.02.02
申请人 STS. CO., LTD. 发明人 KIM, BAE JIN
分类号 H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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