伺服气缸装置及其控制方法

摘要

本发明提供一种伺服气缸装置及其控制方法，用控制器控制分别与气缸的头侧压力室及杆侧压力室连接着的伺服阀，由此进行使活塞前进到目标位置的前进步骤、之后进行使该活塞产生所需加压力的加压步骤，在上述前进步骤中，把头侧伺服阀朝给气侧全开，同时将杆侧伺服阀朝排气侧开放，开始了活塞的驱动后，使杆侧伺服阀的开度变化成与活塞的现在位置和目标位置的偏差相应的开度，这样，使活塞的速度随着接近上述目标位置而平滑地减速。

主权项

1.伺服气缸装置的控制方法，用于控制伺服气缸装置，该伺服气缸装置包括气缸、两伺服阀、压力传感器、位置传感器和控制器；上述气缸具有驱动工件用的加压部件的活塞；上述伺服阀分别与上述气缸的头侧及杆侧的压力室连接；上述压力传感器用于检测上述两压力室的压力；上述位置传感器用于检测上述气缸的动作位置；上述控制器，根据来自上述压力传感器和位置传感器的检测信号，把控制信号输出给上述两伺服阀；其特征在于，具有前进步骤和加压步骤，在前进步骤中，借助上述控制器，使上述活塞前进到上述加压部件接触工件的目标位置，然后，在加压步骤中，对该工件施加所需的加压力；在上述前进步骤中，在将上述头侧伺服阀朝供气侧开放、同时将上述杆侧伺服阀朝排气侧开放而开始了上述活塞的驱动后，在将上述杆侧伺服阀朝排气侧开放的状态下调节其开度，使得其开度成为与上述活塞的现在位置和上述目标位置的偏差相应的开度，从而使该活塞的速度随着活塞接近目标位置而平滑地减速。