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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100518233(B1) 申请公布日期 2005.10.04
申请号 KR20030076583 申请日期 2003.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/304;H01L21/44;H01L21/4763;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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