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发明名称
Method for growing germania films
摘要
申请公布号
US3342619(A)
申请公布日期
1967.09.19
申请号
US19640360266
申请日期
1964.04.16
申请人
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION
发明人
CHU TING LI
分类号
C23C16/40;H01L21/316
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
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