发明名称 对于绝缘层上覆矽(SOI)元件改良的连线结构
摘要 一种半导体接触窗连线结构以及其形成的方法将在此揭露,此连线结构具有第一半导体元件形成于绝缘底材上,非导电性闸极内连线层形成于该绝缘底材上,以连接到第二半导体元件的闸极,以及形成在闸极内连线层和第一半导体元件的主动区上的矽化金属层,以形成一连线(connection)。
申请公布号 TW200532806 申请公布日期 2005.10.01
申请号 TW093121217 申请日期 2004.07.15
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 廖忠志
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号