曝光装置及对位方法

摘要

〔课题〕提供可进行最佳之对位之曝光装置。〔解决手段〕最初，进行一次之对位(S1)，侦测在P1、P2、P3、P4之基板记号10和光罩记号20之偏差Dp(S2)，储存其中之最大值MDp(S3)。重复上述动作N次(S4)，侦测N个最大值MDp，求其中之最小值MDpmin(S5)。判别是否是MDpmin＜既定值(S6)，若系既定值以下，判定侦测到该最小值MDpmin之第n次之对位位置系最佳位置(S7)。若不是既定值以下，判定该基板W为不良品(S8)。