用于定位物体的执行机构的分离

摘要

本发明提供一种用于定位物体的装置和方法，其和第一支撑结构、第二支撑结构相连，第一执行机构沿着第一轴线驱动第一支撑结构；第二执行机构沿着第二轴线驱动第一支撑结构，该第二轴线正交于第一轴线；包含有转子和定子的第三执行机构，用于驱动第二支撑结构，该第二支撑结构相对于该第一支撑结构沿着第三轴线被引导移动，该第三轴线正交于第一轴线和第二轴线；该转子和第二支撑结构相连，并随着定子移动，以及该定子相对静止并和该第二支撑结构相分离。