电浆蚀刻装置及其沉积物剥落监控预警方法

摘要

一种沉积物剥落之监控预警方法，适用于半导体电浆蚀刻装置之反应室，该方法包含有下列步骤：提供一检测波长及一预设强度平均值，接着在反应室中形成电浆，进行一清洁程序，以去除反应室中之污染物；在上述清洁程序进行时，持续监控电浆放电所产生上述检测波长之光波强度，并将所测得检测波长之光波强度平均，求得一强度平均值；而当强度平均值大于预设强度平均值时，停止电浆蚀刻装置运作，发出一警示讯息，以进行适当的维护作业。