一种微光学透镜的制造方法

摘要

一种微光学透镜的制造方法，其利用于微光学或微光电系统之基板上形成墙柱状结构，以高分子聚合物材料披覆后，利用柱底基板之侧向蚀刻使之悬附于墙柱状结构之两侧，经隔离制程及适当加热处理，该高分子聚合物材料因表面张力内聚，成一平凸透镜状。藉由控制高分子披覆层于墙柱状结构两侧悬附量之大小，可结合墙柱状结构直接形成复合材质之对称双凸微透镜、非对称双凸微透镜、平凸微透镜等。亦可藉由蚀刻制程拓印高分子微透镜外型于墙柱状结构上形成单材质微透镜。