| 主权项 |
1.一种装载室之抽气系统,适用于抽取一装载室中之一气体,包括:一粗抽泵;一第一抽气管路,该第一抽气管路之两端系分别连接该装载室与该粗抽泵;一第一隔离阀,配置于该第一抽气管路;一第二抽气管路,配置于该第一阀两端之该第一抽气管路;一第二隔离阀,配置于该第二抽气管路;以及一空气流量调节器,配置于该第二抽气管路。2.如申请专利范围第1项所述之装载室之抽气系统,其中该第一抽气管路的管径系大于该第二抽气管路的管径。3.如申请专利范围第1项所述之装载室之抽气系统,其中该粗抽泵包括机械泵(mechanical pump)。4.如申请专利范围第1项所述之装载室之抽气系统,其中该第一隔离阀包括气动阀(pneumatic valve)。5.如申请专利范围第1项所述之装载室之抽气系统,其中该第二隔离阀包括气动阀(pneumatic valve)。6.如申请专利范围第1项所述之装载室之抽气系统,其中该空气流量调节器包括节流阀(throttle valve)。7.一种装载室之抽气系统的操作方法,适用于抽取一装载室中之一气体,其中该抽气系统系包括一粗抽泵,一第一抽气管路,连接该装载室与该粗抽泵,一第一隔离阀,配置于该第一抽气管路,一第二抽气管路,配置于该第一隔离阀两端之该第一抽气管路,一第二隔离阀,配置于该第二抽气管,一空气流量调节器,配置于该第二抽气管路,且该空气流量调节器系使该第二抽气管路对该气体之该第一抽气速率小于该第一抽气管路对该气体之该第二抽气速率,该方法包括:保持该第一隔离阀为关闭状态,开启该空气流量调节器至一定流量大小,以使通过该空气流量调节器的空气流量为一定値,并开启该第二隔离阀;启动该粗抽泵,以使该抽气系统以该第一抽气速率进行抽气;以及开启该第一隔离阀,以使该抽气系统由该第一抽气速率切换至该第二抽气速率并继续进行抽气,其中该第二抽气速率大于该第一抽气速率,且以该第二抽气速率抽气的时间大于以该第一抽气速率抽气的时间。8.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中于该装载室之气压小于300托时,将该第一抽气速率切换至该第二抽气速率。9.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中该第一抽气管路的管径系大于该第二抽气管路的管径。10.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中该粗抽泵包括机械泵。11.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中该第一隔离阀包括气动阀。12.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中该第二隔离阀包括气动阀。13.如申请专利范围第7项所述之装载室之抽气系统的操作方法,其中该空气流量调节器包括节流阀。图式简单说明:第1图所绘示为习知一种抽气系统连接至一装载室的示意图。第2图所绘示为本发明另一较佳实施例之一种抽气系统连接至一装载室的示意图。 |
