整合式粗抽/排气/通气(RPV)阀

摘要

一种单一导管阀组件提供了具有一排气阀埠口的一整合式低温泵阀，该排气阀埠口系藉由一具有一内导管与一外导管的同轴连接部而将该组件连接至一低温泵。一加压气体界面系经由该内导管而将一加压气体源连接到低温泵。一粗抽阀埠口可以将组件的外导管连接至一粗抽真空泵；且一释放阀埠口可以将组件的外导管连接到一排出管叠。