用于减少浆液消耗之具有沟槽排列的研磨垫

摘要

一种研磨垫(200)，其包括一具有用于研磨晶圆(220)之研磨区域(208)之研磨层(204)。该研磨层包括一组延伸至研磨区域中之流入沟槽(232)及一组延伸离开研磨区域之流出沟槽(236)。在研磨晶圆时，流入及流出沟槽彼此协同操作而增强研磨浆液之利用。