具有多重介电层之鳍式场效电晶体结构及方法

摘要

本发明揭示用于鳍式场效电晶体(FinFET)结构之方法与结构，其具有不同厚度的闸极介电层覆盖于自基板延伸之鳍状物上。鳍状物具有一通道区，以及在通道区之相对侧之源极与汲极区。较厚之闸极介电层可包括多重介电层，而较薄之闸极介电层可包括较少层的介电层。包括不同于闸极介电层材料之帽盖可置于鳍状物上。