测试装置之探测头

摘要

本发明揭露了一种用于测试晶圆的测试装置探测头。本发明之探测头包含至少一探针(Probe)、一对用于垂直固定该探针之介片(Die)及一位于该介片之间且用以调整该探针组之准直片，其中该探针包含一应力缓冲部份，而该介片与准直片具有用以容纳探针之探针孔阵列组(Probe–Hole Array)，该探针孔阵列组之探针孔间距与具有不同接触垫位置分布(Pad Location)但具有相同接触垫间距(Pad Pitch)之受测晶圆或元件上之接触垫间距相同。