梁,具有梁之喷墨记录头,及制造具有梁之喷墨记录头的方法

摘要

本发明系有关一梁，具有一矽单晶体的基底材料、及至少一一体形成的突部，使得其至少一端被支撑，且具有包含一定向平面(111)的两表面；包含有在一平面内的底表面，与该基底材料的一平面为共同平面；一沟，由该底表面贯穿至该突部一顶部；及一保护构件，对晶体各向异性的蚀刻液具有抗拒特性，且覆盖该沟的一内壁。