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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A CARBON NANOTUBE MULTILAYER PATTERN USING PHOTOLITHOGRAPHY AND DRY ETCHING
摘要
申请公布号 KR20050095742(A) 申请公布日期 2005.09.30
申请号 KR20040021031 申请日期 2004.03.27
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 JUNG, HEE TAE;KIM, DO HYUN;CHOI, DO HWAN;JUNG, DAE HWAN;LEE, JAE SHIN
分类号 G03F7/00;C01B31/02;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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