DEVICE AND METHOD FOR THE WET-CHEMICAL PREPARATION OF HIGHLY PURE SOLID BODY SURFACES

摘要

Bekannt ist eine Präparationskammer, in der Festkörperoberflächen mit Flüssigkeiten in Kontakt gebracht oder elektrochemisch präpariert werden können. Diese Präparationskammer wurde mit einer UHV­Kammer für Photoelektronenspektroskopie kombiniert, womit sich Änderungen der Oberflächeneigenschaften beobachten lassen. Präparation und Analyse finden dabei sequentiell statt. Aufgabe ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen Festkörperoberflächen und in-situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven oder kurzzeitspektroskopischen Methoden, die es ermöglichen, physikalische Prozesse an einer Probe in verschiedenen Umgebungen (Vakuum, Gas, Flüssigkeit) optisch zu untersuchen. Die Vorrichtung weist eine mit gereinigtem Gas über einen Gaseinlass (5) mit Ventil flutbare Hauptkammer (1) als Präparations- und Messraum, einen Probenmanipulator (13) mit einem Probenhalter (9), eine in der Hauptkammer (1) befüll- und verschiebbare Küvette (12) mit einem Flüssigkeitsauslass (11) und eine Turbopumpe (15) auf. Die Hauptkammer (1) ist zum Einschleusen von Proben aus einer separaten UHV-Kammer oder der Raumatmosphäre über ein UHV-Ventil (7c) mit einer UHV-Schleusenkammer (4) verbunden. Die Vorrichtung ist zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen, insbesondere vakuumpräparierten Festkörperoberflächen und in-situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven, z.B. Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie, oder kurzzeitspektroskopischen Methoden, z.B. Pump-Probe-Spektroskopie mit Femtosekunden-Zeitauflösung geeignet.