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发明名称 Verfahren zur katalytischen chemischen Gasphasenabscheidung von Siliziumnitrid.
摘要
申请公布号 DE60205719(D1) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 DE20026005719 申请日期 2002.11.22
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 TOTSUKA, MASAHIRO;OKU, TOMOKI;HATTORI, RYO
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318;C23C16/448 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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