发明名称 FILTER STRUCTURE FOR MASK
摘要 <p>°&gt;&gt; DEG í ÈÀ° ÀÏ&gt;&gt;ó&gt;&gt;ýÈ DEG &supl;OE &gt;&gt;ê /ÇöÀå¿¡à- &gt;&gt;ç¿ëµÇ´Â NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C)¿ë ÇÊ ANGSTROM ÍÀÇ +/- NOTEQUAL Á¶¿¡ DEG üÇÑ DEG ÍÀ NOTEQUAL .Îà-, &gt;&gt;óààÇÏ DEG Ô´Â DEG o+/-â ÈíÀÔ+/- NOTEQUAL ¿Í &supl;è+/-â+/- NOTEQUAL DEG ¡ NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C) °&gt;&gt;ÃàÀÇ ³&gt;&gt;°Î¿Í ¿Ü°Î¿¡à- DEG áÇյǴ NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C)¿¡ ÀÖ îà-, &gt;&gt;ó+/-â DEG o+/-â ÈíÀÔ+/- NOTEQUAL DEG ¡ NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C) °&gt;&gt;Ãà.ΰΠANGSTROM Í ³&gt;&gt;°Î ÈíÀÔ ÇÊ ANGSTROM ÍÄÉÀÌâ°¿Í ¿Ü°Î ÈíÀÔ ÇÊ ANGSTROM ÍÄÉÀÌâ°.Î DEG áÇÕÇÏ´Â ÇÑâÖÀÇ ÈíÀÔ+/- NOTEQUAL ÇÊ ANGSTROM ÍÄÉÀÌâ° NOTEQUAL ¦ +/- NOTEQUAL à°ÇϵÇ, &gt;&gt;ó+/-â NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C) °&gt;&gt;Ãà ³&gt;&gt;°Î¿¡ À§Ä¡ÇÏ´Â ³&gt;&gt;°Î ÈíÀÔ ÇÊ ANGSTROM ÍÄÉÀÌâ°¿¡´Â È NOTEQUAL é°Î ³&gt;&gt;ÃoÀ NOTEQUAL .Î °Î ANGSTROM Í ÀâÀÌ¿ÂÀ&gt;&gt; &supl;ss&gt;&gt;ýÇÏ´Â Áö NOTEQUAL § 0.5 ³&gt;&gt;Áö 2 mm ÀÇ &supl;ÙÀÌ¿Ààà¶ó&supl;Í ÀÔÀÚ, &supl;Ù¶/Á/ÇÏ DEG Ô´Â DEG ss¿î NOTEQUAL d ÀÔÀÚ DEG ¡ ³&gt;&gt;ÀåµÈ ÇÊ ANGSTROM ÍÁÖ NOTEQUAL Ó´Ï DEG ¡ ³&gt;&gt;ÀåµÇ DEG í, ÇOE+/-Õ, &supl;aeÃë, &supl;ae¿¬ &supl;OE &supl;aeÁoÀÛ¿ëÀ&gt;&gt; ÇÏ´Â Á¦ 1 ³&gt;&gt;Áö Á¦ 5 DEG ãÀÇ NOTEQUAL ñ ANGSTROM °à¶À &upbar& DEG ¡ ³&gt;&gt;ÀåµÇ NOTEQUAL ç, &gt;&gt;ó+/-â NOTEQUAL ñ ANGSTROM °à¶À &upbar& NOTEQUAL ¦ DEG íÁ¤À§Ä¡ âà ANGSTROM DEG NOTEQUAL ç, &supl;aeÁoÀÛ¿ëÀ&gt;&gt; ÇÏ´Â °ÎÁ/AE/.Î +/- NOTEQUAL వǴ DEG ÍÀ&gt;&gt; AE &upbar& ¡À NOTEQUAL .Î ÇÏ´Â NOTEQUAL ¶â° ANGSTROM (C)¿ë ÇÊ ANGSTROM Í+/- NOTEQUAL Á¶ NOTEQUAL ¦ Á¦ DEG oÇÑ´Ù.</p>
申请公布号 WO2005089877(A1) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 WO2004KR00884 申请日期 2004.04.16
申请人 LIM, WAN TAEK;HONG, SEONG CHAE 发明人 LIM, WAN TAEK;HONG, SEONG CHAE
分类号 A62B23/02;(IPC1-7):A62B23/02 主分类号 A62B23/02
代理机构 代理人
主权项
地址