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发明名称 Halbleiterphotodetektor und sein Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60109520(T2) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 DE20016009520T 申请日期 2001.06.06
申请人 FUJITSU QUANTUM DEVICES LTD., YAMANASHI 发明人 UCHIDA, TORU;ANAYAMA, CHIKASHI
分类号 C23C16/30;H01L21/205;H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/10;H01L31/105;(IPC1-7):H01L31/10;H01L31/102;H01L31/035 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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