发明名称 Antireflektionsbeschichtungszusammensetzung
摘要
申请公布号 DE60105523(T2) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 DE20016005523T 申请日期 2001.11.13
申请人 JSR CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWAGUCHI, KAZUO;TANAKA, MASATO;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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