发明名称 PIEZOELEKTRISCHER ANTRIEB
摘要
申请公布号 DE50204033(D1) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 DE20025004033 申请日期 2002.06.05
申请人 MINISWYS SA, BIEL 发明人 WITTEVEEN, BONNY
分类号 B06B1/02;B06B1/06;H01L41/09;H02N2/00;H02N2/02;H02N2/12;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B06B1/02
代理机构 代理人
主权项
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