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Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle zur Speicherung elektrischer Ladung, die ein Substrat (101), das eine erste Elektrode ausbildet, eine in das Substrat (101) geätzte grabenförmige Vertiefung (102), erhaben in einem Mittenbereich der grabenförmigen Vertiefung (102) und beabstandet zu den Seitenwänden (107) der grabenförmigen Vertiefung (102) bereitgestellt ist, leifähiges Material, das an dem Boden (104) der grabenförmigen Vertiefung (102) einen elektrischen Kontakt zu dem Substrat aufweist, eine auf den Seitenwänden (107) der grabenförmigen Vertiefung (102), dem Boden (104) der grabenförmigen Vertiefung (102) und den Oberflächen des leitfähigen Materials (105) abgeschiedene dielektrische Schicht (108) und eine auf der dielektrischen Schicht (108) abgeschiedene Elektrodenschicht (110), die eine zweite Elektrode ausbildet, aufweist.
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