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经营范围
发明名称
LIFT PIN OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号
KR20050095164(A)
申请公布日期
2005.09.29
申请号
KR20040020372
申请日期
2004.03.25
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, SEONG JUN
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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