α型晶体结构为主体的氧化铝被膜制造方法、α型晶体结构为主体的氧化铝被膜和含该被膜的叠层被膜、以该被膜或叠层被膜镀覆的构件及其制造方法以及物理蒸镀装置

摘要

提供制造耐热性特别优良的以α型晶体结构主体的氧化铝被膜的方法，其中包括：1)在具有由以Al和Ti为必要金属成分与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜的叠层被膜上，氧化该硬质被膜而形成氧化物含有层，在该氧化物含有层上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的方法；2)在形成由氧化物生成的标准自由能大于铝的金属与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜之后，氧化该硬质被膜的表面而形成氧化物含有层，接着，伴随该氧化物含有层表面的氧化物的还原，同时形成氧化铝被膜。

主权项

1.一种在预先形成了底膜的基材上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的方法，其特征在于：在形成了由以Al和Ti为必要金属成分与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜作为该底膜之后，氧化处理该硬质被膜而形成氧化物含有层，然后在该氧化物含有层上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜。