| 发明名称 | MEMS阵列、其制造方法以及MEMS器件制造方法 | ||
| 摘要 | 通过在基板(1)上集成例如电阻(10)、电容(20)、线圈(30)那样的多个元件和连接各元件的开关(41～44)，可以任意地连接各元件，形成MEMS阵列。开关(41～44)能够用晶体管开关或机械开关。能够用配线的短路/开路代替该MEMS阵列的开关(41～44)的接通断开，制造出MEMS器件。 | ||
| 申请公布号 | CN1675125A | 申请公布日期 | 2005.09.28 |
| 申请号 | CN03819622.0 | 申请日期 | 2003.06.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 汤浅光博 |
| 分类号 | B81B7/04;B81C1/00;H01L27/04 | 主分类号 | B81B7/04 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种MEMS阵列，其特征在于：该MEMS阵列备有多个元件和连接所述各元件的开关，可以任意地对各元件进行配线。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||