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发明名称 ORGANIC BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COMPOSITION AND PATTERNING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1578855(A1) 申请公布日期 2005.09.28
申请号 EP20030774253 申请日期 2003.11.18
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 KIM, JAE-HYUN;LEE, CHUN-HYUK;YOON, HEE-KOO
分类号 C08K5/107;C08K5/00;C08K5/05;C08K5/41;C08K5/42;C08L25/18;C08L33/14;G03F7/09;(IPC1-7):C08K5/107 主分类号 C08K5/107
代理机构 代理人
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