化学增强型正光刻胶组合物和锍盐

摘要

本发明公开了一种在用220nm或更短波长的光下的平版印刷中具有优良的灵敏度和分辨力，并得到好的轮廓的化学增强型正光刻胶树脂组合物，包括由式(I)表示的脂族锍盐∴其中每一个Q¹、Q²、Q³和Q⁴独立表示1至6个碳原子的烷基，或Q¹和Q²和/或Q³和Q⁴与相邻的硫原子一起形成具有2至8个碳原子的杂环基，m表示1至8的整数；至少一个鎓盐，选自：三苯基锍盐和二苯基碘鎓盐，其中式(IIa)表示的三苯基锍盐和式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐的比例是9∶1～1∶9，和一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的含脂环族酯的基团的聚合单元，并且其本身不溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱，其中选自式(IIa)化合物和式(IIb)化合物的鎓盐与化学式(I)的脂族鎓盐一起用作一酸发生剂，该酸发生剂的含量是0.1～20％重量，该树脂的含量是80～99.9％重量，其系以该酸发生剂与该树脂的总量计算。

主权项

1、一种化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征在于：包括：由式(I)表示的脂族锍盐，其中每一个Q¹、Q²、Q³和Q⁴独立表示1至6个碳原子的烷基，或Q¹和Q²和/或Q³和Q⁴与相邻的硫原子一起形成具有2至8个碳原子的杂环基，m表示1至8的整数；至少一种鎓盐，选自：由下式(IIa)表示的三苯基锍盐和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐，其中式(IIa)表示的三苯基锍盐和式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐的比例是9∶1～1∶9其中Q⁵、Q⁶、Q⁷、Q⁸和Q⁹独立表示氢原子、羟基、1至6个碳原子的烷基或1至6个碳原子的烷氧基，p和q表示1至8的整数；和一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的含脂环族酯的基团的聚合单元，并且其本身不溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱，其中选自式(IIa)化合物和式(IIb)化合物的鎓盐与化学式(I)的脂族鎓盐一起用作一酸发生剂，该酸发生剂的含量是0.1～20％重量，该树脂的含量是80～99.9％重量，其系以该酸发生剂与该树脂的总量计算。