显示板的腐蚀预处理方法

摘要

本发明提供一种显示板的腐蚀的预处理方法。防止由腐蚀液(L)产生了的反应性气体、雾(G)与露出导电膜直接接触，将导电膜高精度地构图，获得有机EL元件、液晶元件等的高质量显示板。将叠层于基板(M)上的抗蚀剂膜(R)进行构图并露出下层的导电膜，但用保护液膜(F)覆盖露出导电膜直至腐蚀工序，将导电膜与腐蚀室(20)流出的包含反应性气体、雾(G)的环境隔断。腐蚀之前从基板(M)除去保护液膜(F)，将导电膜构图后，在稳定的腐蚀条件下形成高精度的电极图形。

主权项

1.一种显示板的腐蚀预处理方法，其特征在于：在夹置有机发光层或液晶层的一对电极层上连接了引出布线的显示板的电极层或成为引出布线的导电层上重叠抗蚀剂膜而叠层为基板后，用保护液膜覆盖抗蚀剂膜构图后露出了的导电膜，在要从导电膜形成电极图形的腐蚀之前，从基板上除去保护液膜。