高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置

摘要

一种高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置，其特征在于它的结构是：在激光光源输出光束的前进方向依次设扩束望远镜和第一分束器，该第一分束器的透射光束A与待测的硅单晶单色器成一夹角，其反射光束经第二全反射镜反射而入射到第二分束器再反射进入探测器，该第一分束器的反射光束B经第一反射镜的反射入射到第二分束器，其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束，探测器的记录界面垂直于该干涉光束，探测器的信号线接计算机。本实用新型具有高分辨、无损伤、无接触、在线检测的优点，分辨能力达到λ/20。

主权项

1、一种高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置，其特征在于它的结构是：在激光光源(1)输出光束的前进方向依次设扩束望远镜(2)和第一分束器(3)，该第一分束器(3)的透射光束A与待测的硅单晶单色器(4)成一夹角，其反射光束经第二全反射镜(7)反射而入射到第二分束器(6)再反射进入探测器(8)，该第一分束器(3)的反射光束B经第一反射镜(5)的反射入射到第二分束器(6)，其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束，探测器(8)的记录界面垂直于该干涉光束，探测器(8)的信号线接计算机(9)。