| 发明名称 |
COMPOSITION FOR THE CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF METAL AND METAL/DIELECTRIC STRUCTURES WITH HIGH SELECTIVITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG114575(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.28 |
| 申请号 |
SG20020005911 |
申请日期 |
2002.09.26 |
| 申请人 |
BAYER AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
DR. LOTHAR PUPPE;DR. GERD PASSING;DR. KRISTINA VOGT;DR. VALENTINA TERZIEVA |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02;C09G1/18;C09K13/00;C23F17/00;H05K3/26 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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