发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR CONTEXT-SPECIFIC MASK INSPECTION
摘要 <p>A method for inspecting lithography masks includes generating integrated circuit design data and using context information from the integrated circuit design data to inspect a mask.</p>
申请公布号 EP1579274(A2) 申请公布日期 2005.09.28
申请号 EP20030764633 申请日期 2003.07.14
申请人 CADENCE DESIGN SYSTEM, INC. 发明人 PACK, ROBERT, C.;SHEFFER, LOUIS, K.
分类号 G06F7/60;G03F;G03F1/84;G03F9/00;G06F17/10;G06F19/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G06F7/60
代理机构 代理人
主权项
地址