METHOD OF DECREASING OR REMVOING BY-PRODUCT IN A PROCESS OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES AND SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT,申请号KR20040019713-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF DECREASING OR REMVOING BY-PRODUCT IN A PROCESS OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES AND SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号	KR20050094546(A)	申请公布日期	2005.09.28
申请号	KR20040019713	申请日期	2004.03.23
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	PARK, JIN HO;CHOI, GIL HEYUN;LEE, SANG WOO
分类号	H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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