| 发明名称 |
Pneumatically actuated flexure gripper for wafer handling robots |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1041604(A3) |
申请公布日期 |
2005.09.28 |
| 申请号 |
EP20000302235 |
申请日期 |
2000.03.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SUNDAR, SATISH;MATTHEW, NED G. |
| 分类号 |
B25J15/08;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B25J15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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