Ion implanter and a method of implanting ions,申请号GB20020026261-传众专利搜索

发明名称	Ion implanter and a method of implanting ions
摘要
申请公布号	GB2395354(B)	申请公布日期	2005.09.28
申请号	GB20020026261	申请日期	2002.11.11
申请人	* APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	ROBERT * MITCHELL;JOHN * GORDON;KEITH * RELLEEN;RONALD F * HORNER;THEODORE H * SMICK
分类号	H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/30	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
地址