流量传感器及流量计测方法

摘要

一种流量传感器和流量计测方法，流量传感器中因杂物附着等使表示测温体的测定温度与流体流量的关系的输出特性产生变化，而本发明能准确修正因杂物附着引起的误差。在基板表面形成薄膜状桥部，将桥部架空地支撑在基板的空隙部上。在桥部表面设有发热用加热器和测温体。在运算处理部的存储器内存储着初始状态中测温体的计测温度和作为计测对象的流体流量的关系(输出特性)。流量传感器在检测出使用中流量为零时测温体的计测温度后，求出初始状态中流量为零时的测温体的计测温度值与使用中流量为零时的测温体的计测温度之比，将计测温度之比乘以测温体的输出，修正测温体的输出，根据测温体输出的修正值和存储在存储装置内的关系求出流体的流量。

主权项

1.一种流量传感器，备有：由基板的表面架空地支撑着的薄膜状桥部；设置在所述桥部上的发热用加热器和测温体；以及存储装置，存储着初始状态中所述测温体的计测温度及作为计测对象的流体流量的关系，其特征在于，采用初始状态中流量为零时的所述测温体的计测温度值与使用中流量为零时的所述测温体的计测温度之比，修正所述测温体的输出，根据所述测温体的输出的修正值和存储在所述存储装置中的关系，求出流体的流量。