发明名称 AN INTEGRATED STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1578686(A2) 申请公布日期 2005.09.28
申请号 EP20030811019 申请日期 2003.11.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 POGGE, BERNHARD;DESPONT, MICHEL;DRECHSLER, UTE;PRASAD, CHANDRIKA;VETTIGER, PETER;YU, ROY
分类号 B81C3/00;H01L21/768;(IPC1-7):B81C3/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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