| 发明名称 | 涂布以钛化合物薄膜的制品、制备该制品的方法和用于涂布该薄膜的溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明提供了通过溅射法在衬底上形成钛化合物膜的方法，该方法采用含有在氩气氛中溅射效率比钛高二或更多倍的金属(比如锡或锌)的钛靶来代替常规钛金属靶；涂布以钛化合物膜的制品；和用于该薄膜涂布法的溅射靶。在含有锡或锌的钛靶中锡或锌的含量优选为1－45at％，并可以加入第三种金属。它们可以克服采用反应溅射法时薄膜的成膜速率低和由于在衬底(如玻璃板)表面上形成钛化合物膜时放电的产生而不能施用高输出功率的缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN1675400A | 申请公布日期 | 2005.09.28 |
| 申请号 | CN03819540.2 | 申请日期 | 2003.06.17 |
| 申请人 | 日本板硝子株式会社 | 发明人 | 安崎利明;稻冈大介;木岛义文 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/08;C03C17/245 | 主分类号 | C23C14/34 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 郭煜;邹雪梅 |
| 主权项 | 1、制备涂布以钛化合物膜的制品的方法，其特征在于在通过反应溅射法在衬底上形成钛化合物膜时采用了含有1-45at％在氩气氛中溅射效率比钛高2或更多倍的金属的钛靶。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||