用压力变化来使真空设备工作的方法

摘要

采用在工作压力和环境压力之间的压力变化来使真空设备工作的方法，这种真空设备在一个真空腔室里具有由电子构件、变压器、电动机、滚动轴承和导向滚筒这些组件所构成的内装件，这些内装件设有可通风的外壳，其中导向滚筒设有滚动轴承，该轴承固定在外壳里、固定在支承体上。为了保护该内装件－包括导向滚筒和其滚动轴承－在向真空腔室灌气时防止粉尘和其它颗粒钻入，建议在对真空腔室充气之前将一种气体引入到外壳里，通过该气体将由粉尘和颗粒组所组成的固体物从外壳里吹出去，并阻止这些固体物钻入到外壳里去。在这种情况下优选的是，在对于真空腔室的整个送气过程期间使气体可调节地流过外壳。

主权项

1.采用在工作压力和环境压力之间的压力变化来使真空设备工作的方法，这种真空设备在一个真空腔室(V)里具有由电子构件、变压器、电动机、滚动轴承和导向滚筒这些组件所构成的内装件(12，13，13a，24)，这些内装件设有可通风的外壳，其中导向滚筒(12)设有滚动轴承(24)，该轴承固定在外壳里、固定在支承体(7，8)上，其特征在于，在对真空腔室(V)充气之前将一种气体引入到外壳里，通过该气体将由粉尘和颗粒组所组成的固体物从外壳里吹出去，并阻止这些固体物钻入到外壳里去。