| 发明名称 |
Method of testing of a silicon-on-insulator wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1530056(A3) |
申请公布日期 |
2005.09.28 |
| 申请号 |
EP20040077998 |
申请日期 |
2004.11.01 |
| 申请人 |
SOLID STATE MEASUREMENTS, INC. |
发明人 |
HILLARD, ROBERT J. |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L27/12;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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