| 发明名称 | 载置台装置及曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明的载置台装置，使用平面电动机驱动搭载了对象物的动子，包含(i)具有线圈组的定子单元和(ii)在上述定子单元上移动的动子；上述定子单元(a)具有对上述对象物进行第一处理的第一区域和(b)对上述对象物进行第二处理的第二区域；其中：上述定子单元内的线圈组在第一和第二区域独立地被温度调节。 | ||
| 申请公布号 | CN1673872A | 申请公布日期 | 2005.09.28 |
| 申请号 | CN200510054885.4 | 申请日期 | 2005.03.22 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 江本圭司 |
| 分类号 | G03F7/20;H01L21/027;H02K41/00 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 许海兰 |
| 主权项 | 1.一种载置台装置，使用平面电动机驱动搭载了对象物的动子，其特征在于：包含具有线圈组的定子单元和在上述定子单元上移动的动子，上述定子单元具有：(a)用于对上述对象物进行第一处理的第一区域和(b)用于对上述对象物进行第二处理的第二区域，其中，上述定子单元内的线圈组在第一和第二区域独立地被温度调节。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||